特許

J-GLOBAL ID：200903043364760236

電子顕微鏡

発明者： 赤間 善昭
出願人/特許権者： 株式会社東芝
代理人 (1件)： 則近 憲佑
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平4-099359
公開番号（公開出願番号）：特開平5-299049
出願日： 1992年04月20日
公開日（公表日）： 1993年11月12日
要約：

【要約】 (修正有)【目的】 500オングストローム以下の高分解能を有し、かつ高速観察が可能な走査型低加速電子顕微鏡を提供する。【構成】 電子を放出する電子走査系20と表面に突入した電子を検出して検出信号を出力する電子検出系30とを複数配列してなるセンサ部10と、センサ部に対向して試料を載置する載置台41と載置台をセンサ部に対し相対変位させるステージ駆動手段42とからなるステージ部40と、センサ部への電圧供給を制御する電圧制御回路とステージ部の駆動を制御するステージ駆動制御回路とセンサ部からの検出信号を処理する演算回路とからなる演算制御手段50と、センサ部とステージ部を格納して内部を真空排気可能な真空チャンバー60とを具備する。

請求項（抜粋）：

電子を放出する電子走査系と表面に突入した電子を検出して検出信号を出力する電子検出系とを複数配列してなるセンサ部と、センサ部に対向して試料を載置する載置台と載置台をセンサ部に対し相対変位させるステージ駆動手段とからなるステージ部と、センサ部への電圧供給を制御する電圧制御回路とステージ部の駆動を制御するステージ駆動制御回路とセンサ部からの検出信号を処理する演算回路とからなる演算制御手段と、センサ部とステージ部を格納して内部を真空排気可能な真空チャンバーとを具備することを特徴とする電子顕微鏡。

IPC (3件)：

H01J 37/28 ,  H01J 37/073 ,  H01J 37/244

引用特許：

審査官引用 (3件)

• 特開平4-361544
  
• 電子ビーム装置
  公報種別：公開公報   出願番号：特願平4-251233   出願人：富士通株式会社
• 特開昭53-015740