特許

J-GLOBAL ID：200903043369255122

走査顕微鏡

発明者： 森園 幸太郎
出願人/特許権者： 株式会社キーエンス
代理人 (1件)： 山村 喜信
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平9-180647
公開番号（公開出願番号）：特開平11-014907
出願日： 1997年06月20日
公開日（公表日）： 1999年01月22日
要約：

【要約】【課題】 カラーのレーザ顕微鏡のコストダウンと小型化を図る。【解決手段】 レーザ光L1を対物レンズ17により試料wに集光させると共に該レーザ光L1を試料w表面に沿って二次元的に走査させ、該レーザ光L1の反射光L1を受光素子19bに受光させる第1光学系1と、白色光L2を試料wに照射して、その反射光L2をカラー二次元撮像素子24に受光させる第2光学系2とを備えたカラー光学顕微鏡に関する。第1光学系1の受光素子19bからの輝度情報と、第2光学系2のカラー二次元撮像素子24からの色情報とを組み合わせてカラー映像用の信号を得る。

請求項（抜粋）：

レーザ光を対物レンズにより試料に集光させると共に該レーザ光を試料表面に沿って相対的に走査させ、該レーザ光による応答光を第1受光素子に受光させる第1光学系と、前記レーザ光とは異なる色情報用の照明光を試料に照射して、その応答光を第2受光素子に受光させる第2光学系とを備えた走査顕微鏡において、前記第1受光素子からの輝度情報と、前記第2受光素子からの色情報に基づいて、カラー映像用の信号を得ることを特徴とする走査顕微鏡。

IPC (3件)：

G02B 21/00 ,  G02B 21/18 ,  G02B 21/36

FI (3件)：

G02B 21/00 ,  G02B 21/18 ,  G02B 21/36

引用特許：

審査官引用 (2件)

• 特開平1-316715
  
• レーザ顕微鏡
  公報種別：公開公報   出願番号：特願平7-168344   出願人：株式会社キーエンス