特許
J-GLOBAL ID：200903043372663258
容器の汚れモニタリング装置
発明者：
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出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
渡邉 勇 (外1名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平4-247283
公開番号（公開出願番号）：特開平6-074912
出願日： 1992年08月24日
公開日（公表日）： 1994年03月18日
要約：
【要約】【目的】 経験にたよることなく容器の汚れを光学的手段を用いて正確にモニタリングできる容器の汚れモニタリング装置を提供する。【構成】 容器の壁面の汚れをモニタリングする装置であって、容器の外側に設置された光源1と、容器の壁面に設けられ光源1からの光を容器内の鏡面に導く透光性材料12と、前記鏡面上に存在する異物から散乱光となって透光性材料12を透過した光を受ける暗視野顕微鏡4とを備えた。
請求項（抜粋）：
容器の壁面の汚れをモニタリングする装置であって、容器の外側に設置された光源と、容器の壁面に設けられ前記光源からの光を容器内の鏡面に導く透光性材料と、前記鏡面上に存在する異物から散乱光となって前記透光性材料を透過した光を受ける暗視野顕微鏡とを備えたことを特徴とする容器の汚れモニタリング装置。
IPC (2件)：
引用特許：
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