特許
J-GLOBAL ID：200903043378929888
ガラス基板の欠陥の良否判定方法
発明者：
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出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
梶山 佶是 (外1名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平9-090204
公開番号（公開出願番号）：特開平10-267858
出願日： 1997年03月25日
公開日（公表日）： 1998年10月09日
要約：
【要約】【課題】 ガラス基板の表裏の欠陥検査装置において、無害な良欠陥と有害な不良欠陥を判定する。【解決手段】 各欠陥の散乱光を結像したCCD222 の複数の素子eのパルス信号Sを合成した合成信号Gの強度Kが、一定の強度Ks 以上のときこの合成信号Gを検出し、それ未満の強度のときカットする強度閾値Ks と、各合成信号Gより算出した各欠陥の面積Sが、一定の面積Ss 以上のとき、この欠陥を検出し、それ未満のときこの欠陥をカットする面積閾値Ss とを設定し、両閾値Ks,Ssでともに検出された欠陥を不良、ともに検出されない欠陥を良と判定する。【効果】 ガラス基板の品質管理に寄与する。
請求項（抜粋）：
液晶パネル用のガラス基板に対して光束を投射し、該ガラス基板の表面または裏面に存在する各種の欠陥の散乱光をCCDイメージセンサに受光して、該各欠陥の映像を複数の素子に結像し、該各素子が出力するパルス信号を処理して該各欠陥を検出する欠陥検査装置において、該各欠陥の複数のパルス信号を合成して合成信号を作成し、該各合成信号の強度を算出し、該算出した強度が一定の強度以上の合成信号を検出し、それ未満の強度の合成信号をカットする強度閾値と、該各合成信号より各欠陥の面積を算出し、算出した面積が一定の面積以上の欠陥を検出し、それ未満の面積の欠陥をカットする面積閾値とを設定し、該強度閾値で検出された強度を有し、かつ該面積閾値で検出された面積を有する欠陥を不良と判定し、該両閾値でともに検出されない欠陥を良と判定することを特徴とする、ガラス基板の欠陥の良否判定方法。
FI (2件)：
G01N 21/88 D
, G01N 21/88 J
