特許

J-GLOBAL ID：200903043383934482

透過電子顕微鏡画像の粒子解析法およびその装置

発明者： 船木 秀一 ,  森川 博文 ,  野上 敦嗣 ,  武内 朋之
出願人/特許権者： 新日本製鐵株式会社
代理人 (1件)： 矢葺 知之 (外1名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平5-084936
公開番号（公開出願番号）：特開平6-294761
出願日： 1993年04月12日
公開日（公表日）： 1994年10月21日
要約：

【要約】【目的】 材料中の析出物等の分布などを透過電子顕微鏡画像を用いて定量化する方法及びその装置を提供すること。【構成】 電子線入射方向に対して傾斜角を変えて撮影した複数の透過電子顕微鏡画像を傾斜角等補正をすることによって合成し、析出物等の検出を行う。【効果】 透過電子顕微鏡画像の定量性の精度が向上し、材料評価手段としても活用可能とする道が開け、材料の開発速度をあげることが期待できる。

請求項（抜粋）：

電子線の入射方向に対して0.01〜45度の範囲で試料の傾斜角を変えて電子顕微鏡像を撮影し、画像の中心点の偏差量が画像の長辺、短辺座標とも画像の最大長の±10%以内で構成される視野をもつ2枚以上の透過電子顕微鏡画像すべてに共通する組織や粒子の3点以上をもって重ね合わせた画像を用いて、組織や粒子情報を解析定量化することを特徴とする透過電子顕微鏡画像の粒子解析法。