特許

J-GLOBAL ID：200903043385688268

表面疵検査装置

発明者： 河村 努 ,  上杉 満昭 ,  猪股 雅一 ,  吉川 省二 ,  大重 貴彦 ,  杉浦 寛幸
出願人/特許権者： 日本鋼管株式会社
代理人 (1件)： 鈴江 武彦 (外4名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平10-351376
公開番号（公開出願番号）：特開2000-180379
出願日： 1998年12月10日
公開日（公表日）： 2000年06月30日
要約：

【要約】【課題】 顕著な凹凸性を持たない模様状ヘゲ欠陥を確実に検出する。【解決手段】 被検査面21に対して偏光を入射する線状拡散光源22と、被検査面からの正反射光に含まれる鏡面反射成分をよリ多く抽出する方位角の検光子を有する第1の受光手段28a、29aと、被検査面からの正反射光に含まれる鏡面拡散反射成分をよリ多く抽出する方位角の検光子を有する第2の受光手段28b.29bと、第1及び第2の受光手段で受光された鏡面反射成分及び鏡面拡散反射成分に基づいて被検査面の表面疵の有無を判定する判定処理部40とを備え、さらに、第1及び第2の受光手段に対して、入射光の受光時間を調整することによって、この第1及び第2の受光手段に入射される各光量を所定値に制御するための電子シャッターをそれぞれ備えた。

請求項（抜粋）：

被検査面に対してこの被検査面に平行な方位角の成分及び垂直な方位角の成分を有する偏光を入射する線状拡散光源と、前記被検査面からの正反射光に含まれる鏡面反射成分と鏡面拡散反射成分のうち鏡面拡散反射成分に比較して鏡面反射成分をよリ多く抽出する方位角の検光子を有する第1の受光手段と、前記被検査面からの正反射光に含まれる鏡面反射成分と鏡面拡散反射成分のうち鏡面反射成分に比較して鏡面拡散反射成分をよリ多く抽出する方位角の検光子を有する第2の受光手段と、前記第1及び第2の受光手段で受光された鏡面反射成分及び鏡面拡散反射成分に基づいて前記被検査面の表面疵の有無を判定する判定処理部とを備えた表面疵検査装置であつて、前記第1及び第2の受光手段に対して、入射光の受光時間を調整することによって、この第1及び第2の受光手段に入射される各光量を所定値に制御するための電子シャッターをそれぞれ備えたことを特徴とする表面疵検査装置。

Fターム (25件)：

2G051AA37 ,  2G051AB07 ,  2G051BA11 ,  2G051BA20 ,  2G051BB01 ,  2G051BB09 ,  2G051BB17 ,  2G051BB20 ,  2G051CA03 ,  2G051CA04 ,  2G051CA07 ,  2G051CB01 ,  2G051CB05 ,  2G051CC20 ,  2G051CD10 ,  2G051DA06 ,  2G051EA11 ,  2G051EA12 ,  2G051EA14 ,  2G051EA24 ,  2G051EA25 ,  2G051EB01 ,  2G051EC01 ,  2G051EC03 ,  2G051ED23