特許

J-GLOBAL ID：200903043386759185

クリーンルーム内清浄度制御装置

発明者： 関根 誠 ,  加藤 彰
出願人/特許権者： 三機工業株式会社
代理人 (1件)： 古谷 史旺 (外1名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平4-334319
公開番号（公開出願番号）：特開平6-185775
出願日： 1992年12月15日
公開日（公表日）： 1994年07月08日
要約：

【要約】【目的】 本発明は、半導体工場等で使用されるクリーンルーム内の清浄度を自由に制御できるクリーンルーム内清浄度制御装置に関し、クリーンルーム内の清浄度を自由に制御することを目的とする。【構成】 クリーンルームと、天井チャンバと、塵埃を多く含んだ外気を取り入れる取入口を一側に形成した床下チャンバと、送風機に一端を接続された第1送風ダクトと、第1送風ダクトの他端に、分岐して接続された第1分岐ダクト及び第2分岐ダクトと、第1分岐ダクトの途中に設けられた第1風量調整ダンパ及び高性能フィルタと、第2分岐ダクトの途中に設けられた第2風量調整ダンパと、第1分岐ダクトと第2分岐ダクトの合流部で一端が合流して他端が天井チャンバ内に開口する第2送風ダクトとを備えている。

請求項（抜粋）：

クリーンルームと、クリーンルームに隣接して該クリーンルームへ清浄空気が送風される天井チャンバと、クリーンルームに隣接して該クリーンルームから清浄空気が送風されるとともに、塵埃を多く含んだ外気を取り入れる取入口を一側に形成した床下チャンバと、クリーンルーム外に設置され、床下チャンバ内の空気を送風する送風機と、送風機に一端を接続された第1送風ダクトと、第1送風ダクトの他端に、分岐して接続された第1分岐ダクト及び第2分岐ダクトと、第1分岐ダクトの途中に設けられた第1風量調整ダンパ及び高性能フィルタと、第2分岐ダクトの途中に設けられた第2風量調整ダンパと、第1分岐ダクトと第2分岐ダクトの合流部で一端が合流して他端が天井チャンバ内に開口する第2送風ダクトとを備えていることを特徴とするクリーンルーム内清浄度制御装置。

IPC (2件)：

F24F 7/06 ,  F24F 7/007

引用特許：

審査官引用 (2件)

• 特開昭62-237237
  
• 特開昭62-125237