特許
J-GLOBAL ID：200903043387035148
走査型プローブ顕微鏡および走査型プローブ顕微鏡用カンチレバー
発明者：
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出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
三品 岩男 (外1名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平8-332323
公開番号（公開出願番号）：特開平10-170523
出願日： 1996年12月12日
公開日（公表日）： 1998年06月26日
要約：
【要約】【課題】試料表面におけるエバネッセント光の強度の2次元分布を、高感度かつ高空間分解能で検出する手段を備えた走査型プローブ顕微鏡を提供する。【解決手段】試料を搭載するための支持体と、カンチレバー81と、カンチレバーの先端を試料上で走査させる走査手段と、カンチレバーの先端が位置する領域の光強度を検出するための検出手段とを有する。カンチレバー81は、探針27とレバー部26を有し、探針27は、少なくとも一層の導電体膜23と、光導電体膜24を備える。検出手段は、導電体膜と光導電体膜とを構成要素の一部とした共振回路と、共振回路の共振周波数の変化を検出する検出回路とを有する。この構成では、カンチレバーの先端が位置する領域の光強度によって、光導電体膜の導電率が変化する。この導電率の変化を共振周波数の変化として、検出回路が検出する。これにより、試料上のエバネッセント光等の2次元分布像が得られる。
請求項（抜粋）：
試料を搭載するための支持体と、カンチレバーと、前記カンチレバーの先端を前記試料上で相対的に走査させる走査手段と、前記カンチレバーの先端が位置する領域の光強度を検出するための検出手段とを有し、前記カンチレバーは、探針とレバー部を有し、前記探針は、導電体膜と、光導電体膜とを備え、前記検出手段は、前記導電体膜と光導電体膜とを構成要素の一部とする共振回路と、前記共振回路の共振周波数の変化を検出する検出回路とを有することを特徴とする走査型プローブ顕微鏡。
IPC (2件)：
FI (3件)：
G01N 37/00 D
, G01N 37/00 E
, G01B 21/30 Z
