特許
J-GLOBAL ID:200903043387305030

架橋硬化型樹脂組成物、積層体及び硬化方法

発明者:
出願人/特許権者:
公報種別:公開公報
出願番号(国際出願番号):特願平8-066742
公開番号(公開出願番号):特開平9-236916
出願日: 1996年03月22日
公開日(公表日): 1997年09月09日
要約:
【要約】【課題】 硬化後に酸やアルカリ等の溶剤処理によってレジスト表面の粗化が可能な架橋硬化型樹脂脂組成物及びDFRを提供する。【解決手段】 1分子中に2個以上の(メタ)アクリロイルオキシ基を有するエチレン性不飽和化合物(A)の少なくとも1種30〜60重量部、α,β-不飽和カルボキシル基含有単量体(b-1)の少なくとも1種15〜30重量%、ヒドロキシル基含有単量体(b-2)の少なくとも1種5〜30重量%を含むバインダー用重合体(B)30〜60重量部、ヒドロキシル基含有単量体単位を10〜40重量%含む水溶性のバインダー用重合体(C)10〜30重量部、ブロック型ポリイソシアネート化合物(D)1〜20重量部、これらの合計100重量部に対して光重合開始剤(E)が0.001〜10重量部配合されてなる架橋硬化型樹脂組成物。粗化面を有する支持フィルムを用いたDFR。
請求項(抜粋):
1分子中に2個以上の(メタ)アクリロイルオキシ基を有するエチレン性不飽和化合物(A)の少なくとも1種30〜60重量部、α,β-不飽和カルボキシル基含有単量体(b-1)の少なくとも1種15〜30重量%、ヒドロキシル基含有単量体(b-2)の少なくとも1種5〜30重量%及び他の共重合可能な単量体(b-3)40〜80重量%からなるバインダー用重合体(B)30〜60重量部、ヒドロキシル基含有単量体単位を10〜40重量%含む水溶性のバインダー用重合体(C)10〜30重量部、ブロック型ポリイソシアネート化合物(D)1〜20重量部、及び前記(A),(B),(C),(D)成分の合計100重量部に対して、光重合開始剤(E)が0.001〜10重量部配合されてなる架橋硬化型樹脂組成物。
IPC (7件):
G03F 7/027 501 ,  C08G 18/62 NEN ,  C08G 18/67 NFA ,  C08G 18/80 NFM ,  C09J175/04 JFF ,  G03F 7/004 512 ,  G03F 7/033
FI (7件):
G03F 7/027 501 ,  C08G 18/62 NEN ,  C08G 18/67 NFA ,  C08G 18/80 NFM ,  C09J175/04 JFF ,  G03F 7/004 512 ,  G03F 7/033

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