特許

J-GLOBAL ID：200903043387517371

光および荷電粒子検出装置

発明者： 白井 正敬 ,  勝山 俊夫 ,  嶋田 寿一 ,  佐藤 俊彦
出願人/特許権者： 株式会社日立製作所
代理人 (1件)： 小川 勝男
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平6-290932
公開番号（公開出願番号）：特開平8-148712
出願日： 1994年11月25日
公開日（公表日）： 1996年06月07日
要約：

【要約】 (修正有)【目的】低ノイズの光子または荷電粒子検出および低ノイズで高分解能の光子入射位置または荷電粒子入射位置検出のできる固体素子を提供する。【構成】光子(または荷電粒子)検出素子および光子(または荷電粒子)入射位置検出素子は微小な容量を有する2つ以上のトンネルキャパシタを直列に接続した細線と、この細線のすぐ近傍にある微少な電極列と、これらではさんだ光(または荷電粒子)が電子正孔対に変換される絶縁体もしくは半導体層103および光(または荷電粒子)によって生成される電子と正孔をそれぞれ半導体層の両側にドリフトさせる電場をつくる電極101と、読み出し回路から構成される。【効果】フォトンカウンティングまたは荷電粒子のカウンティングのできる固体素子で低ノイズのものを実現することができる。同時に光子または荷電粒子の入射位置を0.5μm以下の分解能で検出する。

請求項（抜粋）：

2つ以上のトンネルキャパシタを直列に接続し、その各々の接続点にゲートキャパシタを接続した第1、第2の構造体を有し、上記第1、第2の構造体のゲートキャパシタにより絶縁体もしくは半導体を両端から挟み込んだ構造を有することを特徴とする光および荷電粒子検出装置。

IPC (3件)：

H01L 31/09 ,  G01T 1/24 ,  H01L 27/148

FI (2件)：

H01L 31/00 A ,  H01L 27/14 B