特許

J-GLOBAL ID：200903043391024088

ウエハ貼り合わせ装置及びその方法

発明者： 宮川 祐一 ,  大久保 安教
出願人/特許権者： ソニー株式会社
代理人 (1件)： 船橋 國則
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平6-037775
公開番号（公開出願番号）：特開平7-226350
出願日： 1994年02月10日
公開日（公表日）： 1995年08月22日
要約：

【要約】【目的】 ウエハの貼り合わせの際の気泡の発生を少なくすることができ、かついずれの口径のウエハでも良好に貼り合わせることができるようにする。【構成】 チャンバー10内において、予め表面を洗浄した第1のウエハ31上に予め表面を洗浄した第2のウエハ32を貼り合わせるウエハ貼り合わせ装置であって、チャンバー10内に設置されて第1のウエハ31と第2のウエハ32とをそれぞれ吸着保持するための第1と第2の保持台14、15と、第1のウエハ31の上方に第2のウエハ32を近接配置する状態に第1と第2の保持台14、15を駆動させる駆動手段18と、チャンバー10内の圧力を制御する圧力制御手段22と、チャンバー10内の湿度を調整する湿度調整手段24と、チャンバー10に取り付けられて第2のウエハ32を上方から押圧するための押圧手段26とで構成する。

請求項（抜粋）：

チャンバー内において、予め表面を洗浄した第1のウエハ上に予め表面を洗浄した第2のウエハを貼り合わせるウエハ貼り合わせ装置であって、前記チャンバー内に設置されて前記第1のウエハと前記第2のウエハとをそれぞれ吸着保持するための第1と第2の保持台と、前記第1のウエハの上方に前記第2のウエハを近接配置する状態に前記第1と前記第2の保持台を駆動させる駆動手段と、前記チャンバー内の圧力を制御する圧力制御手段と、前記チャンバー内の湿度を調整する湿度調整手段と、前記チャンバーに取り付けられて前記第2のウエハを上方から押圧するための押圧手段とを備えていることを特徴とするウエハ貼り合わせ装置。

IPC (2件)：

H01L 21/02 ,  H01L 27/12