特許

J-GLOBAL ID：200903043397191911

露光装置

発明者： 岡崎 洋二 ,  石川 弘美 ,  永野 和彦 ,  藤井 武
出願人/特許権者： 富士写真フイルム株式会社
代理人 (4件)： 中島 淳 ,  加藤 和詳 ,  西元 勝一 ,  福田 浩志
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2002-167407
公開番号（公開出願番号）：特開2004-012900
出願日： 2002年06月07日
公開日（公表日）： 2004年01月15日
要約：

【課題】塵埃等の影響を受けずに露光できる露光装置の提供を課題とする。【解決手段】保持される露光材料148の露光面を直立させる基台174と、基台174と相対移動し、画像データに応じて露光面を露光する露光ヘッド166と、露光ヘッド166を直立面上で移動させる走査手段178と、を備えた露光装置とする。【選択図】 図1

請求項（抜粋）：

保持される露光材料の露光面を直立させる基台と、 前記基台と相対移動し、画像データに応じて露光面を露光する露光ヘッドと、 前記基台又は前記露光ヘッドを直立面上で移動させる走査手段と、 を備えたことを特徴とする露光装置。

IPC (4件)：

G03F7/20 ,  B41J2/445 ,  G02B26/08 ,  H01L21/027

FI (4件)：

G03F7/20 505 ,  G02B26/08 E ,  H01L21/30 529 ,  B41J3/21 V

Fターム (25件)：

2C162AE23 ,  2C162AE28 ,  2C162AE48 ,  2C162FA09 ,  2C162FA18 ,  2C162FA44 ,  2C162FA48 ,  2C162FA50 ,  2C162FA70 ,  2H041AA16 ,  2H041AB14 ,  2H041AC06 ,  2H041AZ01 ,  2H097AA02 ,  2H097AA03 ,  2H097CA05 ,  2H097CA06 ,  2H097CA07 ,  2H097CA17 ,  2H097GB00 ,  2H097LA09 ,  2H097LA12 ,  5F046BA07 ,  5F046CA03 ,  5F046CB18

引用特許：

審査官引用 (2件)

• 特開昭61-072216
  
• 特開昭61-251137