特許
J-GLOBAL ID：200903043401565961
光ビーム走査装置
発明者：
,
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
京本 直樹 (外2名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平6-129989
公開番号（公開出願番号）：特開平7-335962
出願日： 1994年06月13日
公開日（公表日）： 1995年12月22日
要約：
【要約】【目的】 簡単な構成で高精度の走査角度検出を行い、高精度・高安定度の光ビーム走査装置を提供する。【構成】 レーザ光源4から出射された入射光ビーム101を反射して走査光ビーム102として走査するとともに、ガルバノメータ1により回転駆動される回転ミラー2と、前記入射光ビームおよび走査光ビーム102の光軸を遮らない位置に設置される固定ミラー3と、前記回転ミラー2に対して前記入射光ビーム101とは異なる方向から補助光ビーム103を照射する補助光源5と、前記補助光ビーム103を前記回転ミラー2および前記固定ミラー3に複数回反射させた後、その角度検出光104として検出することで、前記回転ミラー2の回転角度を検出する一次元位置検出器6とを有する。
請求項（抜粋）：
レーザ光源から出射されたレーザ光を反射するとともに、ガルバノメータにより回転駆動される回転ミラーと、前記レーザ光の光軸を遮らない位置に設置される固定ミラーと、前記回転ミラーに対して前記レーザ光とは異なる方向から補助光ビームを照射する補助光源と、前記補助光ビームを前記回転ミラーと前記固定ミラーとの間でその回転ミラーに対して複数回反射させた後、その反射光を検出することで、前記回転ミラーの回転角度を検出する第1の角度検出手段とを有することを特徴とする光ビーム走査装置。
IPC (2件)：
引用特許：
前のページに戻る
