特許
J-GLOBAL ID：200903043422707073
排気除害システム
発明者：
出願人/特許権者：
,
代理人 (1件)：
井桁 貞一
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平5-232743
公開番号（公開出願番号）：特開平7-088319
出願日： 1993年09月20日
公開日（公表日）： 1995年04月04日
要約：
【要約】【目的】 本発明は、半導体製造装置から排出される排気の除害を行う排気除害システムに関し、排気漏れのない、ダクトを効率的に配管できるコンパクトな直後排気除害装置の提供、並びに、直後排気除害装置の各機能部分毎に分割、且つ機能部分を標準化、コンポーネント化することを目的とする。【構成】 静止型混合器3、或いは多孔板4とその上流に並流シャワー5とを有する複数孔ベンチュリスクラバ6にて構成されてなる横型の並流湿式除害器1を排気ダクト2の途中に有するように、或いは、要処理排気導入部30と有害成分除去部40とミスト除去部50とを構成部品として有し、各構成部品の各々の入口と出口を丸型ダクトで接続出来るよう標準部品化して、その中間に標準接続で配管等をフレキシブルに挿入できるように構成する。
請求項（抜粋）：
排気に含まれる有害成分を除去する排気除害システムであって、排気ダクト(2) の断面積の2倍以下の断面積を有し、且つ、排気速度を2m/秒以上で処理でき、排気に含まれる有害成分を洗浄水が並流して除害するため圧損効率が良く、小型化に適した横型の並流湿式除害器(1) を、該排気ダクト(2) の途中に有することを特徴とする排気除害システム。
IPC (2件)：
B01D 53/18 ZAB
, H01L 21/02
