光学多層膜フィルタの製造方法

発明者： ,
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：武顕次郎 (外2名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平8-092493
公開番号（公開出願番号）：特開平9-277395
出願日： 1996年04月15日
公開日（公表日）： 1997年10月28日
要約：

【要約】【課題】多層膜の成膜時の基板の反りを防止し、歩留りの良い光学多層膜フィルタを提供する。【解決手段】基板1上に複数の溝1aを形成した後、各溝1a内にマスク材料としてのワイヤ3を嵌め込んだ状態で多層膜2を形成し、次いでワイヤ3を溝1aから除去し、最後に基板1を溝1aに沿って切断することで複数のフィルタ素子チップを得る。

請求項（抜粋）：

基板上に複数の溝を形成する工程と、前記溝内にマスク材料を充填する工程と、前記基板上に多層膜を形成する工程と、前記基板を前記溝に沿って切断する工程とを有する光学多層膜フィルタの製造方法。

IPC (2件)：

B29D 11/00 , G02B 5/28

FI (2件)：

B29D 11/00 , G02B 5/28

引用特許：

出願人引用 (6件)

特開平3-274506
特開昭63-060401
特開昭60-262102

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