特許

J-GLOBAL ID：200903043423718028

高反射ミラーおよび高反射ミラー光学系

発明者： 辰巳 俊平
出願人/特許権者： キヤノン株式会社
代理人 (1件)： 阪本 善朗
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2001-314692
公開番号（公開出願番号）：特開2003-121623
出願日： 2001年10月12日
公開日（公表日）： 2003年04月23日
要約：

【要約】【課題】 Ag等の金属膜本来の高い反射率を生かしつつガラス基板や樹脂基板に対する密着性や耐腐食性に優れ、耐光性を向上させることができ、さらに、基板加熱を不要として生産性の向上を図る。【解決手段】 基板10上に、SiOx膜11(第1層)、紫外線を遮蔽するAl膜12(第2層)、金属酸化膜13(第3層)、反射膜としてのAg膜14(第4層)をこの順に積層し、さらにその上に保護膜ないし増反射層膜15、16を積層して高反射ミラーを構成する。Al膜12の紫外線遮蔽効果により金属反射膜であるAg膜14を透過する紫外線を遮蔽することにより、耐腐食性を向上させ、Ag等の金属膜本来の高い反射率を生かしつつ、密着性および外観も良好で、耐光性を向上させることができる。また、基板加熱を不要として製造工程を簡単にして生産性を向上させ、製造コストを低くすることができる。

請求項（抜粋）：

基板側から第1層がSiOx膜、第2層がAl膜、第3層が金属酸化物、第4層が金属反射膜としてのAg膜、さらにその上に保護膜ないし増反射膜がこの順に積層されて構成されていることを特徴とする高反射ミラー。

Fターム (9件)：

2H042DA02 ,  2H042DA04 ,  2H042DA08 ,  2H042DA11 ,  2H042DA12 ,  2H042DA14 ,  2H042DA18 ,  2H042DC02 ,  2H042DE00