ウエハ搬送装置

発明者： , , ,
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：石田敬 (外3名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2000-313847
公開番号（公開出願番号）：特開2002-124556
出願日： 2000年10月13日
公開日（公表日）： 2002年04月26日
要約：

【要約】【課題】作業空間が少ない場所において、正確なティーチングを行うことを可能とさせると共に作業効率を向上させ、作業者の安全性を確保することが可能なウエハ搬送装置を提供する。【解決手段】予め記憶されたデータに基づきウエハ保持具26を移動経路に沿って移動させて、ウエハ保持具26により保持されたウエハをステージ18上の目標位置まで搬送するウエハ搬送装置22が、ウエハ保持具26がステージ18上の予め定められた位置まで移動したときにステージ18上の目標位置とウエハ保持具26の位置との位置関係を検出するための検出手段42を具備し、この検出手段42により検出された検出結果に基づいてウエハ保持具26の位置がステージ18上の目標位置に整列するように移動経路のデータを修正できるようになっている。

請求項（抜粋）：

ウエハ保持具の移動経路を指示するデータを予め記憶しておき、該データに基づき前記ウエハ保持具を前記移動経路に沿って移動させて、前記ウエハ保持具により保持されたウエハをウエハ支持台上の目標位置まで搬送するウエハ搬送装置において、前記ウエハ保持具がウエハ支持台上の予め定められた位置まで移動したときに前記ウエハ支持台上の前記目標位置と前記ウエハ保持具の位置との位置関係を検出するための検出手段を具備し、該検出手段により検出された検出結果に基づいて前記ウエハ保持具の位置が前記ウエハ支持台上の目標位置に整列するように前記データを修正するようにしたことを特徴とするウエハ搬送装置。

IPC (6件)：

H01L 21/68 , B25J 9/06 , B25J 9/10 , B25J 19/02 , B65G 49/07 , H01L 21/66

FI (8件)：

H01L 21/68 F , H01L 21/68 A , B25J 9/06 D , B25J 9/10 A , B25J 19/02 , B65G 49/07 C , H01L 21/66 G , H01L 21/66 J

Fターム (43件)：

3F059AA14 , 3F059BA04 , 3F059BA09 , 3F059CA05 , 3F059DC08 , 3F059DD12 , 3F059DE03 , 3F059FB01 , 3F059FB22 , 3F059FC04 , 3F060AA01 , 3F060AA07 , 3F060CA21 , 3F060CA24 , 3F060EB02 , 3F060EB12 , 3F060EC02 , 3F060EC12 , 3F060FA02 , 3F060GD14 , 3F060HA35 , 4M106AA01 , 4M106CA38 , 4M106DJ07 , 4M106DJ21 , 4M106DJ32 , 5F031CA02 , 5F031GA36 , 5F031GA43 , 5F031HA01 , 5F031HA33 , 5F031JA02 , 5F031JA06 , 5F031JA13 , 5F031JA17 , 5F031JA28 , 5F031JA29 , 5F031JA38 , 5F031KA10 , 5F031KA11 , 5F031KA12 , 5F031MA33 , 5F031PA02

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