特許
J-GLOBAL ID：200903043428516903

深さ方向元素分布測定方法及び深さ方向元素分布測定装置

発明者：
多田 陽子

多田 陽子 について

, 
片岡 祐治

片岡 祐治 について


出願人/特許権者：
富士通株式会社

富士通株式会社 について


代理人 (1件)： 岡本 啓三
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2003-087240
公開番号（公開出願番号）：特開2004-294275
出願日： 2003年03月27日
公開日（公表日）： 2004年10月21日
要約：
【課題】試料の表面近傍の原子層のミキシングを抑制しつつ、試料表面から極めて浅い領域の元素分布を測定すること。【解決手段】試料の表面にアルカリ金属を含有させる工程と、前記アルカリ金属のイオンよりなる一次イオンを前記試料の表面の測定領域に照射する工程と、前記一次イオンの照射により前記測定領域から放出された二次イオンを質量分離し、特定の二次イオンの放出量を測定して元素分布を分析する工程とを有する深さ方向元素分布測定方法によって解決する。【選択図】 図5
請求項（抜粋）：
試料の表面にアルカリ金属を含有させる工程と、 前記アルカリ金属のイオンよりなる一次イオンを前記試料の表面の測定領域に照射する工程と、 前記一次イオンの照射により前記測定領域から放出された二次イオンを質量分離し、特定の二次イオンの放出量を測定して元素分布を分析する工程と を有する深さ方向元素分布測定方法。
IPC (2件)：
G01N23/225 ,  G01N27/62
FI (2件)：
G01N23/225 ,  G01N27/62 L
Fターム (11件)：
2G001AA05 ,  2G001BA06 ,  2G001CA05 ,  2G001EA04 ,  2G001GA01 ,  2G001GA08 ,  2G001KA01 ,  2G001LA11 ,  2G001MA05 ,  2G001NA07 ,  2G001PA07
引用特許：
審査官引用 (5件)
  • 表面分析装置
    公報種別：公開公報   出願番号：特願平3-176999   出願人：株式会社東芝
  • 特許第2904146号
  • 特許第2904146号
全件表示

前のページに戻る

TOP

BOTTOM