特許

J-GLOBAL ID：200903043435501210

基板搬送装置、半導体製造装置および半導体デバイス製造方法

発明者： 松本 健
出願人/特許権者： キヤノン株式会社
代理人 (1件)： 阪本 善朗
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2000-236359
公開番号（公開出願番号）：特開2002-050667
出願日： 2000年08月04日
公開日（公表日）： 2002年02月15日
要約：

【要約】【課題】 レチクルやウエハ等の基板の搬送中あるいは保管状態にある基板の基板情報コードを速やかに読み取ることができ、基板の管理や基板搬送システムの信頼性の向上および効率化を図る。【解決手段】 レチクル(透明基板)に関する情報をもつバーコード1aは、レチクル1を搬送ハンド2により保持して搬送する際に搬送ハンド2と上下方向に重なる部位に刻印し、搬送ハンド2におけるバーコード1aに対応する部位に反射部2dを設け、レチクル1が搬送ハンド2に保持されて搬送される際に、照明部と検出部からなるバーコードリーダー3により照明部からバーコード1aを照射し反射部2dからの反射光を検出部にて検出してバーコード1aを読み取る。また、バーコードリーダーの照明部と検出部を分離して、レチクルを挟んで対向するように配置してバーコードを透過型で読み取ることもできる。

請求項（抜粋）：

透明基板を搬送ハンド上に保持して搬送する基板搬送手段と透明基板に刻印されているコードを読み取るための照明部と検出部とからなるコード読み取り手段を備える基板搬送装置において、前記透明基板のコードは、該透明基板が前記搬送ハンド上に保持され搬送される際に前記搬送ハンドと上下方向に重なる部位に刻印されており、前記透明基板が前記搬送ハンドに保持された状態で前記コード読み取り手段によって読み取られることを特徴とする基板搬送装置。

IPC (6件)：

H01L 21/68 ,  B65G 1/00 535 ,  B65G 49/06 ,  B65G 49/07 ,  H01L 21/02 ,  H01L 21/027

FI (8件)：

H01L 21/68 A ,  B65G 1/00 535 ,  B65G 49/06 A ,  B65G 49/07 E ,  H01L 21/02 A ,  H01L 21/02 Z ,  H01L 21/30 502 G ,  H01L 21/30 514 D

Fターム (35件)：

3F022BB09 ,  3F022CC02 ,  3F022EE05 ,  3F022KK01 ,  3F022KK10 ,  3F022KK20 ,  3F022MM08 ,  3F022MM11 ,  3F022MM13 ,  3F022MM57 ,  3F022PP04 ,  5F031CA05 ,  5F031CA07 ,  5F031DA09 ,  5F031FA04 ,  5F031FA07 ,  5F031FA11 ,  5F031GA02 ,  5F031GA08 ,  5F031GA36 ,  5F031GA48 ,  5F031JA03 ,  5F031JA04 ,  5F031JA05 ,  5F031JA06 ,  5F031JA14 ,  5F031JA50 ,  5F031MA27 ,  5F031NA02 ,  5F031PA06 ,  5F046AA21 ,  5F046CD01 ,  5F046CD02 ,  5F046CD04 ,  5F046DD04