特許
J-GLOBAL ID:200903043435642442

バーン・イン・テスト用治具

発明者:
出願人/特許権者:
公報種別:公開公報
出願番号(国際出願番号):特願平5-092395
公開番号(公開出願番号):特開平6-281694
出願日: 1993年03月26日
公開日(公表日): 1994年10月07日
要約:
【要約】【目的】 狭ピッチで多端子、多種類のLSIのバーン・イン・テストに対応させる事ができるばかりでなく、安価かつ面積効率が高く、しかも、交換性が良くて破損や被検査物の種類の変更等に容易に対応できるようにする。【構成】 ベース基板10に形成された回路パターンの各内部端子10bと、被検査物1の各端子1aとを個々に電気的に接続させてバーン・イン・テストを行うバーン・イン・テスト用治具において、上下両面に接点14b、14cを有し該接点を介して前記ベース基板10の各内部端子10bと被検査物1の各端子1aとを個々に電気的に接続させる接点基板14と、この接点基板14の前記ベース基板10に対する位置決めを行うとともに内部に前記被検査物1を位置決めしつつ落とし込む位置決め穴12cを有する位置決め板12と、前記被検査物1を前記接点基板14に向けて加圧する加圧機構とを備えた事を特徴とする。
請求項(抜粋):
ベース基板に形成された回路パターンの各内部端子と、被検査物の各端子とを個々に電気的に接続させてバーン・イン・テストを行うバーン・イン・テスト用治具において、上下両面に接点を有し該接点を介して前記ベース基板の各内部端子と多種類の被検査物の各端子とを個々に電気的に接続させる多種類の被検査物に対応するべく接点を配置した接点基板と、この接点基板の前記ベース基板に対する位置決めを行うとともに内部に前記多種類の被検査物を位置決めしつつ落とし込む位置決め穴を有する位置決め板と、前記多種類の被検査物を前記接点基板に向けて加圧する加圧機構とを備えた事を特徴とするバーン・イン・テスト用治具。
IPC (2件):
G01R 31/26 ,  H01L 21/66
引用特許:
審査官引用 (9件)
  • 特開昭64-001252
  • 特開昭64-001252
  • 特開平4-004580
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