特許
J-GLOBAL ID：200903043437604378
加速度センサおよびその製造方法
発明者：
,
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
広瀬 和彦
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平5-190785
公開番号（公開出願番号）：特開平7-020149
出願日： 1993年07月02日
公開日（公表日）： 1995年01月24日
要約：
【要約】【目的】 加速度センサの製造時に、絶縁基板上に接合したシリコンウエハを減圧した容器内でドライエッチングする際、絶縁基板の凹部内側と絶縁基板の外側との間で差圧が生じてシリコン板が破裂するのを防止する。【構成】 シリコンウエハ12とガラス基板22の凹部22Aとの間に、凹部22Aをガラス基板22の側面に連通させる空気抜き通路22Bを形成する。各凹部22A内の気体は該空気抜き通路22Bを介して排気されるから、シリコンウエハからドライエッチングによって固定部23と質量部27とを分離し、加速度センサ21を形成する最中にガラス基板22の凹部22A内の気体の圧力でシリコンウエハ12が破裂するのを防止できる。
請求項（抜粋）：
凹部が形成された絶縁基板と、該絶縁基板上に設けられ、シリコン板をエッチング加工することにより互いに分離して形成された固定部および可動部とを備え、該固定部には固定電極を一体に形成し、前記可動部は、絶縁基板上に固着された支持部と、梁を介して該支持部と連結され、加速度が作用したときに該加速度に応じて前記固定部との間で近接、離間するように前記凹部上で変位する質量部と、該質量部に前記固定部に形成された固定電極との間で微小隙間を介して対向するように設けられた可動電極とから一体形成してなる加速度センサにおいて、前記絶縁基板には前記凹部と絶縁基板の外部とを連通させる空気抜き通路を形成したことを特徴とする加速度センサ。
IPC (3件)：
G01P 15/125
, C23F 4/00
, H01L 29/84
