特許
J-GLOBAL ID：200903043442496230
位置合わせ方法及び装置
発明者：
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出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
井桁 貞一
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平4-183636
公開番号（公開出願番号）：特開平6-029185
出願日： 1992年07月10日
公開日（公表日）： 1994年02月04日
要約：
【要約】【目的】位置合わせマーク形成面が粗い場合であっても、位置合わせマークの位置を高精度に決定し、位置合わせマークが形成された物体の位置合わせを高精度に行うことができるようにし、これを、例えば、露光装置に使用する場合には、高精度、高スループットの露光装置を得ることができるようにする。【構成】対物レンズ13を介して得られる像光束14を偏光子15により直線偏光による像光束16にした後、ノマルスキープリズム17により常光線による像光束18と異常光線による像光束19とに分け、相互にずらした常光線による像光束18の像と異常光線による像光束19の像とを結像レンズ20を介して同時にCCDカメラ8の撮像面8Aに重ね合わせて結像する。
請求項（抜粋）：
対物レンズを介して得られる位置合わせマークの像光束を第1及び第2の像光束に分け、これら第1及び第2の像光束による像を撮像手段の撮像面に相互にずらして同時に結像させて画像信号を取得し、この画像信号に基づいて前記位置合わせマークの位置を決定し、前記位置合わせマークが形成された物体の位置合わせを行うことを特徴とする位置合わせ方法。
IPC (2件)：
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