特許
J-GLOBAL ID：200903043442762410
荷電粒子エネルギー分析装置
発明者：
,
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
青木 朗 (外4名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平4-278749
公開番号（公開出願番号）：特開平7-220670
出願日： 1992年10月16日
公開日（公表日）： 1995年08月18日
要約：
【要約】【目的】 荷電粒子エネルギー分析装置の試料S が絶縁物であるとき、試料が正に荷電し、放射粒子のエネルギースペクトルを歪ませることを軽減させる。【構成】 磁気レンズ21、磁気レンズの磁気鏡像力場中に侵漬された試料S 、試料から荷電粒子を放射させる放射線のソースR 、試料からの放射線の内焦点が合った粒子のエネルギーを分析する分析手段10からなる荷電粒子エネルギー分析装置に、磁気鏡像力場が試料S 上の荷電を修正するため試料上に荷電粒子を導くことを可能とする手段を設ける。この可能とする手段は、電極プレート23、放射線のソース27、または一対の直流バイアス電極等の電界発生手段でよい。これらの可能とする手段は、試料に修正のための電子を確実に供給する。
請求項（抜粋）：
磁気レンズ(21)、試料(S)上に放射線が導かれ、荷電粒子がそこから放射されるように配置された放射線のソース(R)、所定のエネルギー範囲にあるエネルギーを有する放射粒子は磁気鏡像力場により焦点を合わすために運ばれ、そしてそのエネルギー範囲から外れたエネルギーを有する放射粒子は焦点を合わさないようにした磁気レンズ(21)の磁気鏡像力場中に侵漬された試料(S)、焦点が合った粒子のエネルギーを分析するための分析手段(10)および、磁気鏡像力場が試料の上の荷電を修正するために試料に荷電粒子を導くことを可能とする手段(23、40,40’、50,50’)を具備した荷電粒子エネルギー分析装置。
IPC (4件)：
H01J 37/252
, G01N 23/225
, G21K 5/04
, H01J 49/08
