特許
J-GLOBAL ID：200903043447228056
セラミックスヒータの製造方法
発明者：
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出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
足立 勉
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平10-295666
公開番号（公開出願番号）：特開2000-123959
出願日： 1998年10月16日
公開日（公表日）： 2000年04月28日
要約：
【要約】【課題】セラミックスペーストが塗布されたグリーンシートの分離に際して、グリーンシート上に載置されたセラミックス碍管の位置ずれを防止し、且つ、分離作業を速やかに行う。【解決手段】まず、伸縮ロッド57を伸ばして各分離板52を密着した状態にし、各分離板52上に各グリーンシート片GPの位置を合わせて載置する。そして、真空ポンプを駆動させて各分離板52の各透孔56から空気を引き抜き、各グリーンシート片GPを各分離板52に対して真空吸着させる。次に、伸縮ロッド57を縮めて各分離板52の間隔を一定幅W2まで広げると、各分離板52に真空吸着されている各グリーンシート片GPが同時に引き離される。このとき、前記真空吸着力を十分に大きく設定しておけば、セラミックスペースト3aの粘着力に抗して各グリーンシート片GPを引き離した際に、各グリーンシート片GPが各分離板52から離脱するのを防止できる。
請求項（抜粋）：
セラミックス原料粉末に溶剤および結合剤を添加した後にシート状に成形したグリーンシートに、通電されることにより発熱する発熱パターンを複数組形成し、各発熱パターンが独立するようにグリーンシートを複数のグリーンシート片に切断し、その切断時に各グリーンシート片を分離せず、各グリーンシート片をほぼ密着した状態にしておき、その状態で各グリーンシート片の表面に、セラミックス原料粉末に溶剤および結合剤を添加したセラミックスペーストを塗布し、各グリーンシート片のセラミックスペーストが塗布された面の上にセラミックス基材を載置し、そのセラミックス基材が各グリーンシート片に載置された状態で各グリーンシート片を分離する第1の工程と、各グリーンシート片をセラミックス基材の外周に巻き付け、セラミックスペーストの塗布面をセラミックス基材に密着させる第2の工程と、グリーンシート片と発熱パターンとセラミックスペーストとセラミックス基材とを一体焼成する第3の工程とを備えたセラミックスヒータの製造方法。
IPC (2件)：
FI (2件)：
Fターム (19件)：
3K092PP20
, 3K092QA02
, 3K092QA05
, 3K092QB02
, 3K092QB43
, 3K092QB73
, 3K092QB74
, 3K092QB76
, 3K092QB80
, 3K092RA03
, 3K092RD09
, 3K092RD33
, 3K092RD39
, 3K092RD47
, 3K092RF03
, 3K092RF17
, 3K092RF26
, 3K092TT37
, 3K092VV03
