特許
J-GLOBAL ID：200903043452858874
マルチビーム走査装置およびマルチビーム走査装置における走査長さ整合方法
発明者：
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出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
樺山 亨 (外1名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平11-135861
公開番号（公開出願番号）：特開2000-330045
出願日： 1999年05月17日
公開日（公表日）： 2000年11月30日
要約：
【要約】【課題】高価なビーム合成光学系が不要で走査結像素子の設計の自由度が高く、複数ビームの走査長さの整合性のよいマルチビーム走査装置を実現する。【解決手段】複数の光源11,12と、これら光源をカップリングする複数の第1光学系13,14と、第1光学系からの各ビームを主走査方向に長く略線状に集光する第2光学系15と、偏向反射面17とその回転軸AXとが所定距離離れている偏向器16と、偏向された各ビームを被走査面20に向けて集光し、被走査面の略等速的な走査を行わせる走査結像素子18,19を含む第3光学系とを有し、光源11,12は発光波長差:Δλを有し、偏向器に入射する2ビームは偏向回転面内において開き角:αを有し、主走査方向において非平行度:Dの非平行ビームであり、第3光学系は焦点距離の色収差:Δfを有し、2ビームに対し、同一の偏向回転角に対する走査長さの差が所定量以下となるように、上記Δλ、α、D、Δfが設定される。
請求項（抜粋）：
実質的に偏向回転面内において所定の間隔を隔して配置された複数の光源と、複数の光源をそれぞれカップリングする複数の第1光学系と、これら複数の第1光学系からの各ビームを主走査方向に長く略線状に集光する第2光学系と、上記略線状の集光部の近傍に偏向反射面を有し、上記第2光学系側からの各ビームを等角速度的に偏向させ、上記偏向反射面とその回転軸とが所定距離離れている偏向器と、この偏向器により偏向された各ビームを被走査面に向けて集光し、上記被走査面上に副走査方向に分離したスポットを形成し、上記被走査面の略等速的な走査を行わせる走査結像素子を含む第3光学系とを有し、上記複数の光源のうち、少なくとも2つは発光波長差:Δλを有し、上記発光波長差:Δλを有する複数光源から放射され、第2光学系から偏向器に入射する少なくとも2ビームは偏向回転面内において開き角:αを有し、上記少なくとも2ビームは、主走査方向において非平行度:Dの非平行ビームであり、上記第3光学系は焦点距離の色収差:Δfを有し、上記少なくとも2ビームに対し、同一の偏向回転角に対する走査長さの差が所定量以下となるように、上記発光波長差:Δλ、開き角:α、非平行度:D、焦点距離の色収差:Δfが設定されることを特徴とするマルチビーム走査装置。
Fターム (4件)：
2H045AA01
, 2H045BA22
, 2H045CA62
, 2H045CA98
