特許

J-GLOBAL ID：200903043453774747

圧力検出装置

発明者： 橋口 健二
出願人/特許権者： 株式会社コガネイ
代理人 (1件)： 筒井 大和 (外2名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2000-186827
公開番号（公開出願番号）：特開2002-005770
出願日： 2000年06月21日
公開日（公表日）： 2002年01月09日
要約：

【要約】【課題】 ワークを吸着搬送するための吸着具の圧力を検出する圧力検出装置の小型化を達成することにある。【解決手段】 圧力検出装置はワークを吸着する吸着具が設けられた搬送ヘッドに装着される。搬送ヘッドに設けられる流路切換ユニットには、センサケース32が取り付けられるようになっており、センサケース32内にはセンサパッケージ36が設けられている。このセンサパッケージ36内に設けられた圧力センサからの出力信号を処理する信号処理回路が設けられたICチップ42は、センサ基板35にフリップチップ実装により取り付けられ、センサパッケージ36はICチップ42を覆うようにセンサ基板35に取り付けられている。圧力センサからの信号に基づいて、吸着具の圧力状態はセンサ基板35に設けられたLEDにより点灯表示される。

請求項（抜粋）：

ワークを吸着する吸着具が設けられ、前記吸着具に吸着されたワークを搬送する搬送ヘッドと、前記搬送ヘッドに設けられ、前記吸着具に対する正圧空気の供給を制御する正圧切換弁および前記吸着具に対する負圧空気の供給を制御する負圧切換弁を流路切換ユニットと、前記流路切換ユニットに設けられ、前記吸着具内の圧力を検出する圧力センサが組み込まれたセンサパッケージと、前記流路切換ユニットに設けられ、前記圧力センサからの信号を処理する信号処理回路と、前記流路切換ユニットに設けられ、前記信号処理回路からの出力信号により制御されて前記吸着具が正圧であるか負圧であるかを点灯表示する点灯表示手段とを有することを特徴とする圧力検出装置。

IPC (4件)：

G01L 19/12 ,  B25J 15/06 ,  G01L 9/04 101 ,  H01L 21/68

FI (4件)：

G01L 19/12 ,  B25J 15/06 B ,  G01L 9/04 101 ,  H01L 21/68 P

Fターム (22件)：

2F055AA39 ,  2F055BB20 ,  2F055CC02 ,  2F055DD05 ,  2F055EE14 ,  2F055FF05 ,  2F055FF43 ,  2F055GG03 ,  2F055GG45 ,  2F055HH05 ,  3F061AA01 ,  3F061CA01 ,  3F061CC13 ,  3F061DB06 ,  3F061DC03 ,  3F061DD03 ,  5F031CA17 ,  5F031GA25 ,  5F031GA36 ,  5F031JA10 ,  5F031JA51 ,  5F031MA33