特許
J-GLOBAL ID:200903043461774055

クリーンルーム内の荷移載装置

発明者:
出願人/特許権者:
代理人 (1件): 森本 義弘
公報種別:公開公報
出願番号(国際出願番号):特願平6-090392
公開番号(公開出願番号):特開平7-291441
出願日: 1994年04月28日
公開日(公表日): 1995年11月07日
要約:
【要約】【構成】 架台ケース11上に、中空状に形成された回転体13を設け、回転体13に一対の支持腕14と開口部25とを設け、回転体13内と架台ケース11内とを連通させ、架台ケース11内に、回転体13を回転させる回転用モータ31と、支持腕14を昇降させる昇降用モータ34と、開口部25から回転体13内に流入した空気55を架台ケース11の排気部52から排気させるファン43とを設け、ファン43の下流側と排気部52との間にフィルター44を設けた。【効果】 各モータ31,34などから架台ケース11の内部に発生した塵埃は、開口部25から流込んだ空気55とともに排気部52側に流れ、フィルター44で確実に捕集される。従来のようなダクトホースを不要にし得、狭い場所であっても荷移載装置9を設置することができる。また、塵埃がクリーンルーム内に飛散することを防止できる。
請求項(抜粋):
架台ケース上に、垂直軸心回りに回転自在でかつ中空状に形成された回転体を設け、この回転体に、互いに接近離間自在な左右一対の支持腕と開口部とを設け、上記回転体内と架台ケース内とを連通させ、上記架台ケース内に、回転体を回転させる回転駆動装置と、上記開口部から回転体内に流入した空気を架台ケースの排気部から外部へ排気させるファンとを設け、ファンの下流側と上記排気部との間にフィルターを設けたことを特徴とするクリーンルーム内の荷移載装置。
IPC (3件):
B65G 49/00 ,  B65G 49/07 ,  F24F 7/06
引用特許:
審査官引用 (1件)
  • 特開平3-177226

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