水晶振動片およびその加工方法

発明者：
出願人/特許権者：
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平4-360380
公開番号（公開出願番号）：特開平6-204784
出願日： 1992年12月28日
公開日（公表日）： 1994年07月22日
要約：

【要約】[目的] 組立工程における損傷を防止することができ振動特性も良好ならしめる。[構成] 所定の形状に成形した水晶片のエッジ部分から0.5mmないし0.2mmを残してマスクして1回目のエッチングを行ってエッジ部分の割れ、欠けを除いた後、マスクを除去して水晶片全体に2回目のエッチングを行って水晶片の表面の加工歪及び微細な傷を除去したことを特徴とする水晶振動片及び所定の形状に成形した水晶片のエッジ部分から0.5mmないし0.2mmを残してマスクして1回目のエッチングを行ってエッジ部分の割れ、欠けを除いた後、マスクを除去して水晶片全体に2回目のエッチングを行って水晶片の表面の加工歪及び微細な傷を除去する加工方法。

請求項（抜粋）：

所定の形状に成形した水晶片の表裏板面のエッジ部分から0.5mmないし0.2mmを残してマスクを形成して1回目のエッチングを行ってエッジ部分の割れ、欠けを除いた後、マスクを除去して水晶片全体に2回目のエッチングを行って水晶片の表面の加工歪及び微細な傷を除去したことを特徴とする水晶振動片。

IPC (2件)：

H03H 9/19 , H03H 3/02

引用特許：

審査官引用 (5件)

特公昭57-055678
特開昭62-134935
特開昭62-200812

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