静圧浮上ステージ

発明者：
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：鈴江武彦
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平6-080171
公開番号（公開出願番号）：特開平7-285044
出願日： 1994年04月19日
公開日（公表日）： 1995年10月31日
要約：

【要約】【目的】本発明は改良された同一平面式XYステージによる静圧浮上ステージを提供する。【構成】本発明による静圧浮上ステージは、ガイドを案内として定盤に静圧浮上するスライダを有し、前記ガイドが、前記定盤面に直交する案内面と、該案内面とは独立別個に固定されている磁性体とを有し、前記スライダが、前記磁性体と対向する磁石と、前記案内面に対向するエアパッドとを有する(Yスライダ)か、または、前記ガイドが、互いに一定の角度で交わる第1および第2の案内面と、前記第1及び第2の案内面とは別個独立に前記第1または第2の案内面に対して一定の角度傾けて固定配置された磁性体とを有し、前記スライダが、前記磁性体と対向する磁石と、前記第1の案内面に対向する第1のエアパッドと前記第2の案内面に対向する第2のエアパッドとを有する(Xスライダ)。

請求項（抜粋）：

定盤と、ガイドと、該ガイドを案内とし、前記定盤に静圧浮上するスライダとを有する静圧浮上ステージにおいて、前記ガイドは、前記定盤面に直交する案内面と、該案内面とは独立別個に固定されている磁性体とを有し、前記スライダは、前記磁性体と対向する磁石と、前記案内面に対向するエアパッドとを有することを特徴とする静圧浮上ステージ。

IPC (4件)：

B23Q 1/38 , F16C 32/06 , H01L 21/027 , H01L 21/68

FI (2件)：

B23Q 1/26 E , H01L 21/30 503 A

引用特許：

出願人引用 (3件)

特開平1-216120
特開平4-223830
特公平5-023890

審査官引用 (3件)

特開平1-216120
特開平4-223830
特公平5-023890

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