半導体集積回路装置およびその製造方法

発明者： , , ,
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：筒井大和
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2001-145222
公開番号（公開出願番号）：特開2002-343962
出願日： 2001年05月15日
公開日（公表日）： 2002年11月29日
要約：

【要約】【課題】ゲート電極を覆う窒化シリコン膜中の水素含有量を低減することによって、デバイスのNBTI寿命を向上させる。【解決手段】窒化シリコン膜の堆積に使用するCVD装置100は、ソースガスを熱分解するホットウォール炉103と、ウエハ1の表面に膜を形成するチャンバ101とが互いに分離された構造になっている。チャンバ101の上方には、ソースガスを熱分解するためのホットウォール炉103が設けられており、その外周には、炉内を最高1200°C程度の高温雰囲気に設定できるヒータ104が設置されている。配管105、106を通じてホットウォール炉103に供給されたソースガスは、この炉内であらかじめ熱分解され、その分解成分がチャンバ101のステージ102上に供給されてウエハ1の表面に膜を形成する。

請求項（抜粋）：

半導体基板の主面上に形成されたMISFETと、前記MISFETのゲート電極の少なくとも一部を覆う、第1窒化シリコン膜を主成分とする第1絶縁膜を有し、前記第1窒化シリコン膜に含まれる水素の濃度が2×1021atoms/cm3以下であることを特徴とする半導体集積回路装置。

IPC (10件)：

H01L 29/78 , H01L 21/8238 , H01L 21/8242 , H01L 21/8247 , H01L 27/092 , H01L 27/10 461 , H01L 27/108 , H01L 27/115 , H01L 29/788 , H01L 29/792

FI (9件)：

H01L 27/10 461 , H01L 29/78 301 G , H01L 27/10 621 C , H01L 27/10 651 , H01L 27/08 321 Z , H01L 27/08 321 K , H01L 29/78 371 , H01L 27/10 434 , H01L 27/08 321 D

Fターム (97件)：

5F048AB01 , 5F048AB03 , 5F048AC03 , 5F048BB06 , 5F048BB07 , 5F048BB08 , 5F048BE03 , 5F048BF06 , 5F048BG13 , 5F048DA27 , 5F083AD31 , 5F083AD48 , 5F083AD49 , 5F083AD62 , 5F083EP02 , 5F083EP23 , 5F083EP55 , 5F083ER22 , 5F083JA04 , 5F083JA06 , 5F083JA14 , 5F083JA15 , 5F083JA17 , 5F083JA32 , 5F083JA36 , 5F083JA39 , 5F083JA40 , 5F083MA03 , 5F083MA06 , 5F083MA17 , 5F083MA19 , 5F083MA20 , 5F083NA01 , 5F083PR06 , 5F083PR21 , 5F083PR40 , 5F083PR43 , 5F083PR44 , 5F083PR45 , 5F083PR53 , 5F083PR54 , 5F083PR55 , 5F083ZA05 , 5F083ZA06 , 5F083ZA12 , 5F101BA07 , 5F101BA29 , 5F101BA33 , 5F101BA36 , 5F101BB05 , 5F101BD35 , 5F101BD36 , 5F101BH02 , 5F101BH05 , 5F140AA06 , 5F140AB03 , 5F140AC32 , 5F140AC33 , 5F140BA01 , 5F140BD01 , 5F140BD02 , 5F140BD05 , 5F140BD07 , 5F140BD09 , 5F140BD10 , 5F140BE07 , 5F140BE10 , 5F140BE15 , 5F140BF04 , 5F140BF20 , 5F140BF21 , 5F140BF27 , 5F140BG14 , 5F140BG22 , 5F140BG28 , 5F140BG30 , 5F140BG32 , 5F140BG52 , 5F140BG53 , 5F140BH15 , 5F140BJ01 , 5F140BJ04 , 5F140BJ11 , 5F140BJ17 , 5F140BJ20 , 5F140BJ27 , 5F140BK02 , 5F140BK13 , 5F140BK27 , 5F140BK29 , 5F140BK30 , 5F140CB04 , 5F140CC03 , 5F140CC12 , 5F140CC14 , 5F140CC16 , 5F140CE07

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