特許

J-GLOBAL ID：200903043475223841

試料搬送装置

発明者： 遠藤 隆
出願人/特許権者： 株式会社ニコン
代理人 (1件)： 平木 祐輔 (外1名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平8-033466
公開番号（公開出願番号）：特開平9-232402
出願日： 1996年02月21日
公開日（公表日）： 1997年09月05日
要約：

【要約】【課題】 フォトマスクやレチクル等の試料に傷やゴミを付けることなく搬送することのできる搬送装置を得る。【解決手段】 搬送しようとする試料Fの両側辺部分に磁性材料Maを配置すると共に、搬送装置50の試料保持腕70、70の対向する側面に凹溝71、71を形成し、そこに、磁性材料Mbを配置する。磁性材料MaとMbの対向する面の極性を同じとし、試料Fの磁性材料Maの部分を試料保持腕70、70の凹部71、71内で磁力の反発力により非接触で保持し、その状態で目的の場所に搬送する。

請求項（抜粋）：

搬送しようとする試料の両側辺部分を保持するための凹溝を対向する側面部分にそれぞれ形成している一対の試料保持腕と、該一対の試料保持腕を該試料の幅よりも広い間隔である第1の位置と該凹溝内に試料を保持する第2の位置とに変位させるための移動手段と、該凹溝に磁力を発生させる磁力発生手段とを少なくとも有することを特徴とする試料搬送装置。

IPC (4件)：

H01L 21/68 ,  B25J 15/06 ,  H01F 7/20 ,  H01L 21/027

FI (4件)：

H01L 21/68 A ,  B25J 15/06 S ,  H01F 7/20 E ,  H01L 21/30 502 J

引用特許：

審査官引用 (3件)

• 気流搬送装置
  公報種別：公開公報   出願番号：特願平5-128933   出願人：株式会社日立製作所
• 特開昭59-418483
  
• 特開昭59-418483