特許

J-GLOBAL ID：200903043484027036

発泡シート及び研磨用固定砥粒発泡体

発明者： 政木 義則
出願人/特許権者： 住友ベークライト株式会社
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2002-037845
公開番号（公開出願番号）：特開2003-236764
出願日： 2002年02月15日
公開日（公表日）： 2003年08月26日
要約：

【要約】 (修正有)【課題】 CMPプロセスにおいて、研磨性能ばらつきが小さく、研磨精度の高い、かつウエハの大口径化に対応した大型化が容易な、さらにはドレッシング時間を大幅に短縮した研磨用固定砥粒発泡体を提供する。【解決手段】 砥粒15が分散された接着層13を介して、渦巻き状に巻かれて固定されてなる発泡シートの厚み方向断面を研磨面とすることを特徴とする研磨用固定砥粒発泡体であり、発泡シートに含まれる気泡14の平均径が0.1μm以上、300μm未満であり、発泡シートを構成する主原料が、熱可塑性ポリウレタンであり、接着層が、水溶性および/又は水分散性を有する硬化剤を原料とするポリウレタン系接着剤であることが好ましい。

請求項（抜粋）：

砥粒が分散された接着層を介して、渦巻き状に巻かれて固定されてなる発泡シートの厚み方向断面を研磨面とすることを特徴とする研磨用固定砥粒発泡体。

IPC (3件)：

B24D 11/00 ,  H01L 21/304 622 ,  B24B 37/00

FI (3件)：

B24D 11/00 E ,  H01L 21/304 622 F ,  B24B 37/00 C

Fターム (13件)：

3C058AA07 ,  3C058AA09 ,  3C058CA01 ,  3C058CB02 ,  3C058CB07 ,  3C058DA12 ,  3C063AA10 ,  3C063AB08 ,  3C063BG01 ,  3C063BG11 ,  3C063BH07 ,  3C063EE10 ,  3C063EE26