特許

J-GLOBAL ID：200903043487703709

磁気ヘッドスライダ及びヘッド・ジンバル・アセンブリの製造方法並びに製造装置

発明者： 橋本 清司 ,  松本 真明
出願人/特許権者： 株式会社日立製作所
代理人 (1件)： 作田 康夫
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2000-297070
公開番号（公開出願番号）：特開2002-100015
出願日： 2000年09月26日
公開日（公表日）： 2002年04月05日
要約：

【要約】【課題】ステップ軸受けを有する負圧スライダでは、ステップ軸受け深さ等の形状ばらつきによる浮上量ばらつきが存在する。スライダ1の低浮上化には、スライダ1の浮上面3の平面度ばらつきが原因の浮上量ばらつきだけでなく、ステップ軸受け等の形状ばらつきが原因の浮上量ばらつきの低減も必要とされている。【解決手段】磁気ヘッドスライダの製造方法及び製造装置をスライダ1の切断前のローバー状態あるいは単品状態で、スライダ1の浮上面3の平面度を観察する手段を有し、スライダ1のステップ軸受け深さ等の形状データ110を入力する形状データ入力部111を有し、形状データ110を考慮してスライダ1の予測浮上量を算出し、予測浮上量と目標浮上量の差から調整する目標平面度を算出する演算処理部112を有し、目標平面度にスライダ1の浮上面3の平面度を調整する手段を有する構成とする。この構成とすることで浮上面3の平面度以外の形状データによる浮上量の変化を調整し、ステップ軸受け深さがばらついた場合でも浮上量ばらつきの小さいスライダを実現する。

請求項（抜粋）：

回転する記録媒体に対して情報を記録・再生する磁気トランスデューサを備えた磁気ヘッドスライダの製造方法であって、前記スライダの形状データを入力するプロセスと、この形状データを考慮して前記スライダの予測浮上量を算出するプロセスと、この予測浮上量と所望の目標浮上量の差から調整する目標平面度を算出するプロセスと、この目標平面度に前記浮上面の平面度を調整するプロセスとを備えた磁気ヘッドスライダの製造方法。

IPC (3件)：

G11B 5/60 ,  G11B 21/21 ,  G11B 21/21 101

FI (3件)：

G11B 5/60 C ,  G11B 21/21 A ,  G11B 21/21 101 L

Fターム (8件)：

5D042NA02 ,  5D042PA01 ,  5D042PA05 ,  5D042RA02 ,  5D059AA01 ,  5D059CA11 ,  5D059DA31 ,  5D059EA01