特許

J-GLOBAL ID：200903043495015528

シラン系ガス中のシロキサンの計測方法

発明者： 林 茂樹 ,  大木 厚志 ,  来島 貴彦 ,  中村 雅一 ,  牧原 康二
出願人/特許権者： 大阪酸素工業株式会社
代理人 (1件)： 湯浅 恭三 (外6名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平7-066179
公開番号（公開出願番号）：特開平8-261989
出願日： 1995年03月24日
公開日（公表日）： 1996年10月11日
要約：

【要約】【目的】 シラン中のシロキサンの定量【構成】 大気圧イオン化質量分析計(APIMS)を用いてシランガス中のシロキサン成分の定性・定量計測する場合において、m/z77、107、109、137、139、169よりなる群から選ばれたイオンの1つまたは2つ以上のイオンにより、シランガス中のシロキサン成分の定性・定量する大気圧イオン化質量分析計を用いたシランガス中のシロキサン計測方法。

請求項（抜粋）：

大気圧イオン化質量分析計(APIMS)を用いてシランガス中のシロキサン成分の定性・定量計測する場合において、m/z77、107、109、137、139、169よりなる群から選ばれたイオンの1つまたは2つ以上のイオンにより、シランガス中のシロキサン成分を定性・定量する大気圧イオン化質量分析計を用いたシランガス中のシロキサン計測方法。