特許
J-GLOBAL ID：200903043497568559
スプール型流量制御弁及びその制御装置
発明者：
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出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
後藤 洋介 (外1名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2001-098446
公開番号（公開出願番号）：特開2002-297243
出願日： 2001年03月30日
公開日（公表日）： 2002年10月11日
要約：
【要約】【課題】 高速化、高精度化の可能なスプール型流量制御弁を提供する。【解決手段】 スリーブ1とスプール2の弁体2-1、2-3との間を非接触で支持する静圧空気軸受を備えると共に、スプールの位置を非接触で検出する位置検出器6を備え、該位置検出器の検出値をアクチュエータ3にフィードバックして位置制御を行うようにしたスプール型流量制御弁。
請求項（抜粋）：
複数のポートを持つスリーブ内に複数の弁体を持つスプールを摺動可能に収容し、該スプールをアクチュエータで軸方向に移動させるようにして流量の制御を行うスプール型流量制御弁において、前記スリーブと前記弁体との間を非接触で支持する構造を備えると共に、前記スプールの位置を非接触で検出する位置検出器を備え、該位置検出器の検出値を前記アクチュエータにフィードバックして位置制御を行うようにしたスプール型流量制御弁。
IPC (4件)：
G05D 7/06
, F15B 9/09
, F16K 11/07
, F16K 37/00
G05D 7/06 Z
, F15B 9/09 F
, F16K 11/07 J
, F16K 37/00 D
3H001AA01
, 3H001AB06
, 3H001AB10
, 3H001AC03
, 3H001AD04
, 3H001AE12
, 3H001AE14
, 3H001AE24
, 3H065AA04
, 3H065BB11
, 3H065CA01
, 3H067AA17
, 3H067CC32
, 3H067CC41
, 3H067CC60
, 3H067DD05
, 3H067DD12
, 3H067DD32
, 3H067EA06
, 3H067ED17
, 3H067ED20
, 3H067FF11
, 3H067GG03
, 3H067GG15
, 3H067GG22
, 5H307BB02
, 5H307DD01
, 5H307DD03
, 5H307EE02
, 5H307EE06
, 5H307EE17
