特許
J-GLOBAL ID：200903043506261526
顕微赤外分光装置
発明者：
出願人/特許権者：
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平3-238791
公開番号（公開出願番号）：特開平5-052741
出願日： 1991年08月26日
公開日（公表日）： 1993年03月02日
要約：
【要約】【目的】 不要な赤外光が検出器へ到達することのない顕微赤外分光装置を提供する。【構成】 分光器1からの赤外光は反射鏡4,5,凹面鏡2を介して試料7の微細部分に照射される。透過赤外光は凹面鏡3,反射鏡6,半透明鏡11,半透明鏡12を介して検出器14に入射し検出される。反射鏡6と凹面鏡3により試料像(可視光像及び赤外像)が形成される位置には、スリット板13が配置されている。スリット板13は例えばガラス基板の表面に1μm程度の厚さのインジウム-スズ酸化物膜(ITO膜)をスプレー法にて付着させて作成する。ITO膜は可視光領域では80%前後の高い透過率を有し、赤外領域では透過率零の特性を有している。従って、スリットを透過した可視光によって試料の広い部分を観察できると共に、不所望な試料領域からの赤外光が検出器へ入射することを防止できる。
請求項（抜粋）：
移動ステージ上の試料に赤外領域の光L1 を照射する光学系と、該試料を透過あるいは反射した光L1 を検出する検出器と、該検出器に向かう光L1 を制限するスリット板と、該試料に可視光L2 を照射するための照射光学系と、該試料から放射され前記スリット板を通過した可視光L2 が導入される観察光学系とを備えた顕微赤外分光装置において、前記スリット板を可視光を透過する基板と、その上に形成されたインジウム-スズ酸化膜とで構成したことを特徴とする顕微赤外分光装置。
IPC (2件)：
引用特許：
前のページに戻る
