表面性状検出装置

発明者： , , , ,
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：中島淳 (外2名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平6-038683
公開番号（公開出願番号）：特開平7-248211
出願日： 1994年03月09日
公開日（公表日）： 1995年09月26日
要約：

【要約】【目的】DIP型ICのリード面のはんだぬれ状態を検出する。【構成】Z軸方向に配列されたLEDを備えた照明30A、30Bでリード面の同一位置に波長が異なる光を照射し、ICをX方向に移動させる。そのときの反射光を分光フィルタ28により波長毎に分離し、分離された光の強度を各々センサ26A、26Bで検出する。リード面のはんだは良品の場合略円筒面状になっており、リード側端部の傾斜面での反射光強度が最大になり、平坦面での反射光強度が最小になる。センサ26A、26Bで得られた反射光強度が最大な部分を合成した画像から傾斜面と平坦面との分布を求め、この分布からはんだぬれ状態を検出する。

請求項（抜粋）：

異なる方向から被測定物表面の同一位置に照射される分離可能な複数の光によって被測定物表面を走査する走査手段と、被測定物表面から反射された光を照射された方向に対応する光毎に分離する分離手段と、分離された各々の光の強度を検出する検出手段と、検出された光の強度に基づいて光強度画像を合成する画像合成手段と、を含む表面性状検出装置。

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