位置決め装置

発明者：
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：長島悦夫
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平7-153037
公開番号（公開出願番号）：特開平9-005024
出願日： 1995年06月20日
公開日（公表日）： 1997年01月10日
要約：

【要約】【目的】小型・軽量,低コストかつ取扱い容易で、検出可能有効長の拡大と自動位置決め方式化を図れる位置決め装置を提供する。【構成】テーブル30に、基線Z方向に伸びかつねじ軸41を収容可能で少なくとも下向側が気密状態とされたねじ軸収容空間35を設けるとともに,ナット部材42を該ねじ軸41と同芯として取付け,かつ下面側にメインスケール51を下向きとして取付け、ベース10に、上下方向に貫通する検出器収容空間11を形成するとともに,この検出器収容空間11内にインデックススケール55を取付けた検出器ホルダー61を平面的姿勢変更可能に装着し、ベース10の下面側から検出器ホルダー61の平面的姿勢を変更させてメインスケール51とインデックススケール55とのモアレ調整を行えるように構成した。

請求項（抜粋）：

基線方向に相対移動可能に装着されたベースおよびテーブルと,ベース側に回転可能に装着されたねじ軸とこのねじ軸に螺合可能かつテーブル側に装着されたナット部材とを含みベースに対してテーブルを基線方向に移動させる駆動手段と,ベースおよびテーブルのいずれか一方に取付けられたメインスケールとその他方に取付けられたインデックススケールとを含みベースに対するテーブルの移動変位量を検出する検出手段とを具備してなる位置決め装置において、前記テーブルに前記基線方向に伸びかつ前記ねじ軸を収容可能で少なくとも下向側が気密状態とされたねじ軸収容空間を設けるとともに前記ナット部材を該ねじ軸と同芯として取付けかつ下面側に前記メインスケールを下向きとして取付け、前記ベースに上下方向に貫通する検出器収容空間を形成するとともにこの検出器収容空間内に前記インデックススケールを取付けた検出器ホルダーを平面的姿勢変更可能に装着し、ベースの下面側から検出器ホルダーの平面的姿勢を変更させて前記メインスケールと前記インデックススケールとのモアレ調整を行えるように構成した、ことを特徴とする位置決め装置。

IPC (3件)：

G01B 11/00 , B23Q 17/22 , G01B 21/00

FI (3件)：

G01B 11/00 F , B23Q 17/22 E , G01B 21/00 C

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