特許
J-GLOBAL ID：200903043523049212
絶縁基板へのスピン・コート方法とその装置
発明者：
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出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
井桁 貞一
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平4-117860
公開番号（公開出願番号）：特開平5-315234
出願日： 1992年05月12日
公開日（公表日）： 1993年11月26日
要約：
【要約】【目的】 スピン・コート方法とその装置に関し、絶縁基板周辺における化学処理液の裏面側への回り込みを抑制して生産性の向上を図ることを目的とする。【構成】 縦軸で回転する基板載置台32に吸着されて共に回転する該基板載置台32より大きい絶縁基板11上の回転中心位置近傍に化学処理液14′を滴下し、該絶縁基板11の上面に化学処理膜を形成する絶縁基板へのスピン・コート方法であって、平面視が前記絶縁基板11とほぼ同様の形状をなす基板載置台32の周面ほぼ等間隔位置に少なくとも該絶縁基板11の周辺近傍を向くように斜め上方に向けた開口を持つ複数の溶剤噴出用ノズル 32g-1,32g-nから前記化学処理液14′の溶剤を噴出させながら、前記化学処理液14′を滴下させて構成する。
請求項（抜粋）：
縦軸で回転する基板載置台(32)に吸着されて共に回転する該基板載置台(32)より大きい絶縁基板(11)上の回転中心位置近傍に化学処理液(14′) を滴下し、該絶縁基板(11)の上面に化学処理膜を形成する絶縁基板へのスピン・コート方法であって、平面視が前記絶縁基板(11)とほぼ同様の形状をなす基板載置台(32)の周面ほぼ等間隔位置に少なくとも該絶縁基板(11)の周辺近傍を向くように斜め上方に向けた開口を持つ複数の溶剤噴出用ノズル(32g-1,32g-n) から前記化学処理液(14 ′) の溶剤を噴出させながら、前記化学処理液(14 ′) を滴下させることを特徴とした絶縁基板へのスピン・コート方法。
IPC (4件)：
H01L 21/027
, B05C 11/08
, B05D 1/40
, G03F 7/16 502
