特許

J-GLOBAL ID：200903043527503031

気体の圧力測定装置

発明者： 浦野 晋 ,  米子 明伸 ,  中川 潤
出願人/特許権者： 三菱重工業株式会社
代理人 (1件)： 光石 俊郎 (外1名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平4-193792
公開番号（公開出願番号）：特開平6-034473
出願日： 1992年07月21日
公開日（公表日）： 1994年02月08日
要約：

【要約】【目的】 容器内の気体圧力を、簡単且つ精度よく検出する。【構成】 気体が存在する容器11には放電管12が連通しており、誘導コイル13に高周波電流を流して気体を励起させると、放電管12から蛍光16が放出される。蛍光16は分光器17で受光され、光電管19及び圧力計20により各波長の光ごとに光強度が測定され、各光強度が各気体の圧力を示す。

請求項（抜粋）：

容器内の気体の圧力を測定する圧力測定装置であって、前記容器に連通した放電管と、この放電管の外壁に巻付けられた誘導コイルと、この誘導コイルに高周波電流を流す高周波発振器と、前記放電管から発生する光を測定する分光器とを具えてなることを特徴とする気体の圧力測定装置。