特許
J-GLOBAL ID：200903043529909337
放電プラズマ発生用高周波電源装置及び半導体製造装置
発明者：
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出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
鈴江 孝一 (外1名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平7-318998
公開番号（公開出願番号）：特開平9-161994
出願日： 1995年12月07日
公開日（公表日）： 1997年06月20日
要約：
【要約】【課題】 高周波電力の印加に伴って瞬時にインピーダンス整合条件を満足させて放電プラズマを速やかに発生させることができ、発生後は放電プラズマを安定よく維持することができるようにする。【解決手段】 放電プラズマ発生器6によるプラズマ発生を検知するプラズマ発生検出器13が検出動作するまでは、発振回路12による発振周波数を放電前の負荷インピーダンスの共振周波数に整合する可変範囲の周波数で変化させ、かつ、プラズマ発生検出器13が検出動作した後は、発振回路12による発振周波数を放電後の負荷インピーダンスの最適共振周波数に整合するように予め設定されている固定周波数に切替え制御する周波数制御回路14を備えている。
請求項（抜粋）：
負荷となる放電プラズマ発生器と、発振回路を含む高周波電力発生源と、この高周波電力発生源から出力されて上記放電プラズマ発生器へ印加される高周波電力の周波数を上記放電プラズマ発生器の負荷インピーダンスの共振周波数に整合させる自動整合器とを備えた放電プラズマ発生用高周波電源装置において、上記発振回路を周波数可変式に構成するとともに、上記放電プラズマ発生器によるプラズマ発生を検知するプラズマ発生検出器を設け、このプラズマ発生検出器が検出動作するまでは上記発振回路による発振周波数を放電前の負荷インピーダンスの共振周波数に整合するように変化させ、かつ、上記プラズマ発生検出器が検出動作した後は上記発振回路による発振周波数を放電後の負荷インピーダンスの最適共振周波数に整合するように予め設定されている固定の周波数に切替え制御する周波数制御回路を設けていることを特徴とする放電プラズマ発生用高周波電源装置。
IPC (2件)：
FI (2件)：
H05H 1/46 R
, H01L 21/302 B
