特許
J-GLOBAL ID：200903043538953640
蒸着方法および有機エレクトロルミネッセンス素子
発明者：
,
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
木下 實三 (外1名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平9-258710
公開番号（公開出願番号）：特開平11-092915
出願日： 1997年09月24日
公開日（公表日）： 1999年04月06日
要約：
【要約】【課題】 有機蒸着材料を用いて有機物層を成膜する蒸着方法において、ガスや水分等による汚染を確実に低減できる蒸着方法を提供する。不純物による汚染を低減することにより優れた品質を確保できる有機EL素子を提供する。【解決手段】 有機蒸着材料を用いて有機物層13,14を蒸着するにあたって、有機蒸着材料として、ガス含有率を1mol%以下としたペレット状のものを用いる。これにより、ガスや水分等による汚染を確実に低減できるから、有機EL素子1を作製した場合には、寿命が長く駆動電圧の低い高品質な有機EL素子1が得られる。
請求項（抜粋）：
有機蒸着材料を用いて有機物層を成膜する蒸着方法であって、前記有機蒸着材料は、ペレット状に形成され、かつ、ガス含有率が1mol%以下とされていることを特徴とする蒸着方法。
IPC (4件)：
C23C 14/12
, C23C 14/24
, G02F 1/15 505
, H05B 33/10
C23C 14/12
, C23C 14/24 E
, G02F 1/15 505
, H05B 33/10
