特許
J-GLOBAL ID：200903043541853738
酸化亜鉛系焼結体及びその製造方法並びに用途
発明者：
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出願人/特許権者：
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平3-099816
公開番号（公開出願番号）：特開平6-088218
出願日： 1991年04月05日
公開日（公表日）： 1994年03月29日
要約：
【要約】【目的】 タ-ゲットとして用いた場合に優れた特性を示す酸化亜鉛系焼結体を提供する。【構成】 亜鉛の硫酸水溶液をアンモニアで中和して得られた沈殿物を仮焼した後、1300°C以上の温度で焼結することにより、(002)結晶配向性を有する酸化亜鉛系焼結体を得る。
請求項（抜粋）：
(002)結晶配向性が(101)結晶配向性より大きく、且つ密度が4.5g/cm3以上である酸化亜鉛系焼結体。
IPC (3件)：
C23C 14/34
, C04B 35/00
, C23C 14/08
