多層膜の評価方法および記録媒体

発明者： , ,
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：岩橋文雄 (外2名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2001-283269
公開番号（公開出願番号）：特開2003-090710
出願日： 2001年09月18日
公開日（公表日）： 2003年03月28日
要約：

【要約】【課題】サンプル構造が複雑であっても、簡便な方法により、表面側の膜の評価を、従来の測定器を用いて行うことを可能とする。【解決手段】少なくとも1層からなる層A上に、層Aを構成する物質とは異なる光学定数をもつ物質bからなる層Bが存在し、かつ層B上に、少なくとも1層からなる層Cが存在しているサンプルを、反射率測定もしくはエリプソメトリー等の光学的評価手法により測定し物理量の実測値の組を得た後、層Aを無視した先述の物質bを基板とするモデルにより解析しても、層Cの評価結果として層Aの存在を考慮に入れたモデルを用いた場合と実質的に同一の結果が得られる波長範囲に限定して物理量の実測値を解析し層Cを評価する。

請求項（抜粋）：

少なくとも1層からなる層A上に、層Aを構成する物質とは異なる光学定数をもつ物質bからなる層Bが存在し、かつ層B上に、少なくとも1層からなる層Cが存在しているサンプルを、反射率測定もしくはエリプソメトリー等の光学的評価手法により測定し物理量の実測値の組を得た後、層Aを無視した先述の物質bを基板とするモデルにより解析しても、層Cの評価結果として層Aの存在を考慮に入れたモデルを用いた場合と実質的に同一の結果が得られる波長範囲に限定して物理量の実測値を解析し層Cを評価することを特徴とする多層膜の評価方法。

IPC (5件)：

G01B 11/06 , G01N 21/00 , G01N 21/21 , G01N 21/27 , H01L 21/66

FI (5件)：

G01B 11/06 Z , G01N 21/00 B , G01N 21/21 Z , G01N 21/27 B , H01L 21/66 L

Fターム (24件)：

2F065AA30 , 2F065CC19 , 2F065CC31 , 2F065FF41 , 2F065FF46 , 2F065LL67 , 2G059AA01 , 2G059AA10 , 2G059BB16 , 2G059DD03 , 2G059EE02 , 2G059EE10 , 2G059EE12 , 2G059HH02 , 2G059HH03 , 4M106AA01 , 4M106BA06 , 4M106BA20 , 4M106CB21 , 4M106CB30 , 4M106DJ18 , 4M106DJ19 , 4M106DJ20 , 4M106DJ21

前のページに戻る