特許
J-GLOBAL ID：200903043552987418
ハードディスクの欠陥検出方法
発明者：
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
木村 高久
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平4-295214
公開番号（公開出願番号）：特開平6-148088
出願日： 1992年11月04日
公開日（公表日）： 1994年05月27日
要約：
【要約】 (修正有)【目的】 ハードディスク表面のしみ、タッチマークのような凹凸のほとんどない欠陥を検出する方法を提供する。【構成】 第1は、ハードディスク表面に、テクスチャ2に対して平行となるように、斜め方向から白色高輝度平行光3を入射し、散乱光を分解能の低い結像光学系5を通してCCDアレイセンサ等の光センサ6で検出する。第2は、散乱光を光センサで検出し、この検出出力を半径方向に沿って微分し、微分ピーク位置のハードディスク表面上における連続性を測定し、連続性が高いときにのみしみが存在すると判断する。第3は、散乱光を光センサでハードディスクの全面にわたって検出し、ハードディスクを複数の同心円に分け、その各同心円上での検出出力の極小値をとる位置を求め、この位置が半径方向に並んだとき、これをタッチマークであると判断する。
請求項（抜粋）：
ハードディスク表面に、テクスチャに対して平行となるように、斜め方向から光を入射し、ハードディスクからの散乱光を光センサで検出することによりハードディスク表面の欠陥を検出するようにしたことを特徴とするハードディスクの欠陥検出方法。
IPC (3件)：
G01N 21/88
, G01B 11/30
, G11B 5/84
