特許
J-GLOBAL ID：200903043553700481
走査型プローブ顕微鏡および原子種同定方法
発明者：
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出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
小鍜治 明 (外2名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平5-059863
公開番号（公開出願番号）：特開平6-273155
出願日： 1993年03月19日
公開日（公表日）： 1994年09月30日
要約：
【要約】【目的】 個々の原子に関する、引力から斥力に至るまでの探針-試料間相互作用力の探針-試料間距離依存性、および任意の探針-試料間距離での電圧-電流特性を測定できる高機能走査型プローブ顕微鏡、およびそれを用いた原子種の同定方法を提供する。【構成】 探針先端の電位が制御可能で且つ電流を流すことができる導電性探針が設けられたカンチレバー、該カンチレバーの固定端と試料との相対位置を制御するための位置制御機構、該探針と試料との間に生じる原子間力などによる該カンチレバーのたわみ量を計測するための微小変位計測機構、および該カンチレバーのたわみを制御するためのたわみ制御機構からなる。
請求項（抜粋）：
探針先端の電位が制御可能で且つ電流を流すことができる導電性探針が設けられたカンチレバー、該カンチレバーの固定端と試料との相対位置を制御するための位置制御機構、該探針と試料との間に生じる原子間力、ファンデアワールス力、磁気力、クーロン力の何れかによる該カンチレバーのたわみ量を計測するための微小変位計測機構、および該カンチレバーのたわみを制御し、試料ー探針先端間の距離を任意の値に制御するためのたわみ制御機構を有することを特徴とする走査型プローブ顕微鏡。
IPC (2件)：
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