特許

J-GLOBAL ID：200903043558986952

ポジ型放射線感応性混合物およびそれを使用して製造した記録材料

発明者： ウエンゲンロート,ホルスト ,  シュピース,ワルター ,  ビュール,ゲルハルト ,  レシエルト,ホルスト ,  パウロウスキー,ゲオルク ,  フクス,ユルゲン
出願人/特許権者： ヘキスト、アクチェンゲゼルシャフト
代理人 (1件)： 佐藤 一雄 (外2名)
公報種別：公表公報
出願番号（国際出願番号）：特願平6-504918
公開番号（公開出願番号）：特表平8-500911
出願日： 1993年06月07日
公開日（公表日）： 1996年01月30日
要約：

【要約】a)化学放射線の影響下で酸を形成する化合物、b)この酸により開裂し得る少なくとも1個のC-O-CまたはC-O-Si結合を含有する化合物、およびc)水に不溶であるが、アルカリ水溶液に可溶または少なくとも膨潤し得る重合体状バインダーを含むポジ型放射線感応性混合物であって、化合物(a)が、式R1(-SO2-R2)n(式中、R1はn価の(C1C3)アルカン基であり、R2は、同一であるか、または異なるものであって、アリール、アラルキル、ヘテロアリールまたはヘテロアラルキル基であり、nは2〜4の整数である。)に相当する混合物に関する。本発明の放射線感応性混合物は、広いスペクトル範囲にわたって解像度および感度が高い。また、本混合物は、熱安定性が高く、露光により腐食性の光分解生成物を形成しない。本発明は、この混合物から製造した、フォトレジスト、電子部品および印刷版の製造または成形物のエッチングに適当な放射線感応性記録材料にも関する。

請求項（抜粋）：

a)化学放射線に露出することにより酸を形成する化合物、b)前記酸により開裂し得る少なくとも1個のC-O-CまたはC-O-Si結合を含む化合物、およびc)水に不溶であるが、アルカリ水溶液中で溶解または少なくとも膨潤し得る重合体状バインダーを含んでなるポジ型放射線感応性混合物であって、化合物a)が、式 R1(-SO2-R2)n(式中、R1はn価の(C1〜C3)アルカン基であり、R2は等しい、または異なったアリール、アラルキル、へテロアリールまたはへテロアラルキル基を表し、nは2〜4の整数である。)に対応することを特徴とするポジ型放射線感応性混合物。

IPC (4件)：

G03F 7/039 501 ,  G03F 7/004 501 ,  G03F 7/004 503 ,  H01L 21/027