特許

J-GLOBAL ID：200903043564092467

静電アクチュエータの制御方法

発明者： 田中 猛 ,  菊田 知之 ,  大場 大祐
出願人/特許権者： アスモ株式会社
代理人 (1件)： 青山 葆 (外1名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平6-275030
公開番号（公開出願番号）：特開平8-140365
出願日： 1994年11月09日
公開日（公表日）： 1996年05月31日
要約：

【要約】【目的】 静電アクチュエータにおいて、移動子の作動の確実性と円滑性を向上すること【構成】 移動子(11)の複数の電極(17a,17b,17c)を、2つ置きに配設した電極毎に互いに接続して3相とし、各相の電極に対してそれぞれ負、負、正の高電圧を固定的に印加する。固定子(12)の電極(20a,20b,20c)を、2つ置きに配設した電極毎に互いに接続して3相とし、各相の電極に対して、等時間間隔の連続する3つのステップからなるサイクルを繰り返し、かつ、各相のサイクルを1ステップ分ずつ位相をずらして電圧を印加し、上記3つのステップのうち第1のステップでは4/8から6/8の間の所定の時点までは正、該時点以降は負の電圧を印加し、第2のステップでは負の高電圧を印加し、第3のステップでは正の電圧を印加する。

請求項（抜粋）：

絶縁層に複数の電極を等ピッチで配設してなる固定子と、絶縁層に複数の電極を等ピッチで配設してなり、上記固定子に対向して配置された移動子とを備えるアクチュエータに対して、上記移動子の電極に固定的に高電圧を印加する一方、上記固定子の電極に極性を切り替えて高電圧を印加し、移動子の電極と、固定子の電極との間に生じる静電気による吸引力、反発力により移動子を固定子に対して移動させる静電アクチュエータの制御方法であって、上記移動子の複数の電極を、2つ置きに配設した電極毎に互いに接続して3相とし、各相の電極に対してそれぞれ負、負、正の高電圧を固定的に印加する一方、上記固定子の電極を、2つ置きに配設した電極毎に互いに接続して3相とし、各相の電極に対して、等時間間隔の連続する3つのステップからなるサイクルを繰り返し、かつ、各相のサイクルを1ステップ分ずつ位相をずらして電圧を印加し、上記3つのステップのうち第1のステップでは4/8から6/8の間の所定の時点までは正、該時点以降は負の電圧を印加し、第2のステップでは負の高電圧を印加し、第3のステップでは正の電圧を印加することを特徴とする静電アクチュエータの制御方法。