特許

J-GLOBAL ID：200903043566140990

板厚測定方法およびその装置

発明者： 嶋本 篤
出願人/特許権者： 株式会社ナノテム
代理人 (1件)： 落合 稔
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平10-222760
公開番号（公開出願番号）：特開2000-055626
出願日： 1998年08月06日
公開日（公表日）： 2000年02月25日
要約：

【要約】【課題】 生産ラインに容易に組み込めて、透過性を有する測定対象板の板厚を高速かつ正確に非接触で測定できる板厚測定方法およびその装置を提供する。【解決手段】 集束性の強い平行光を光源の発射点から入射光として発して受光部で直接受光するときの受光点を基準受光点とし、透過性を有する測定対象板を一方の面の任意の入射点に所定角度の入射角で入射光が入射されるように挿入した場合の、入射光がスネルの法則に従って透過して他方の面の透過点から所定角度の発射角で発射される透過光を受光するときの受光点を測定受光点とし、発射点から基準受光点までの光路を基準光路とし、発射点から入射点および透過点を介して測定受光点に至るまでの光路を測定光路として、光源と受光部との間に測定対象板を挿入し、そのときの測定光路と基準光路の相違に基づいて、測定対象板の板厚を求めることを特徴とする。

請求項（抜粋）：

集束性の強い平行光を光源の発射点から入射光として発して受光部で直接受光するときの受光点を基準受光点とし、透過性を有する測定対象板の表裏2面のうちの一方の面の任意の入射点に所定角度の入射角で前記入射光が入射されるように前記測定対象板を挿入した場合の、前記入射光がスネルの法則に従って前記測定対象板を透過して前記表裏2面のうちの他方の面の透過点から前記所定角度の発射角で発射される透過光を受光するときの前記受光部の受光点を測定受光点とし、前記発射点から前記基準受光点までの光路を基準光路とし、前記測定対象板を挿入したときの前記発射点から前記入射点および前記透過点を介して前記測定受光点に至るまでの光路を測定光路として、前記光源と前記受光部との間に前記測定対象板を挿入し、前記光源から前記入射光を発して、前記受光部で前記透過光を受光するとともに、そのときの前記測定光路と前記基準光路の相違に基づいて、前記測定対象板の板厚を求めることを特徴とする板厚測定方法。

Fターム (28件)：

2F065AA30 ,  2F065BB01 ,  2F065BB22 ,  2F065CC25 ,  2F065DD03 ,  2F065DD06 ,  2F065FF00 ,  2F065GG04 ,  2F065GG06 ,  2F065HH04 ,  2F065HH12 ,  2F065HH15 ,  2F065JJ01 ,  2F065JJ08 ,  2F065JJ16 ,  2F065JJ18 ,  2F065JJ25 ,  2F065LL04 ,  2F065LL05 ,  2F065NN02 ,  2F065NN17 ,  2F065QQ00 ,  2F065QQ23 ,  2F065QQ25 ,  2F065QQ26 ,  2F065QQ28 ,  2F065SS06 ,  2F065SS13

引用特許：

審査官引用 (2件)

• 特開昭53-027055
  
• 特開昭53-027055