特許
J-GLOBAL ID：200903043572721678
基板処理装置
発明者：
,
出願人/特許権者：
代理人 (2件)：
井上 俊夫
, 水野 洋美
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2002-313136
公開番号（公開出願番号）：特開2004-152801
出願日： 2002年10月28日
公開日（公表日）： 2004年05月27日
要約：
【課題】ウエハなどの基板にレジスト膜を形成するユニット群と、露光後の基板を現像するユニット群と、搬送スケジュールに基づいて各モジュール(処理ユニットや受け渡しステージ)に置かれた基板を一つ順番が後のモジュールに移るように順次搬送を行う第1の搬送手段と、を備えた処理ブロックを含む塗布、現像装置において露光装置に対する搬送を速やかに行うこと。【解決手段】インターフェイス部内の第2の搬送手段を、露光装置側のステージとの間で受け渡しをする搬送手段と処理ブロックとの間で受け渡しをする搬送手段との2つを備えた構成とすると共に第1の搬送手段とは非同期で制御し、搬送元モジュールから基板の搬出が可能である旨の信号と搬送先モジュールに基板の搬入が可能である旨の信号とが出力されたときに、順次搬送元モジュールから基板を搬送先モジュールに搬出するように動作させる。【選択図】 図1
請求項（抜粋）：
第1の処理部、第2の処理部、第3の処理部の順に処理される基板に対し、第1の処理部及び第3の処理部における処理を行う基板処理装置において、
前記基板に対して一連の処理を行う複数の処理ユニットを備えた第1の処理部と、
前記基板に対して一連の処理を行う複数の処理ユニットを備えた第3の処理部と、
前記第1の処理部及び第3の処理部と第2の処理部との間に介在するインターフェイス部と、
前記第1の処理部から基板をインターフェイス部に受け渡すための第1の中間受け渡し部と、
前記インターフェイス部から基板を第3の処理部に受け渡すための第2の中間受け渡し部と、
複数の基板を収納したキャリアが載置されるキャリア載置部と、
キャリア載置部に載置されたキャリアから基板を受け取って、第1の処理部の各処理ユニット、第1の中間受け渡し部の順に基板を搬送し、更に第2の処理部にて処理された基板を第2の中間受け渡し部から受け取って、第3の処理部の各処理ユニット、キャリア載置部に載置されたキャリアの順に搬送すると共に、基板が置かれる個所をモジュールと呼ぶとすると、搬送スケジュールに基づいて各モジュールに置かれた基板を一つ順番が後のモジュールに移るように順次搬送を行う第1の搬送手段と、
前記第1の処理部で処理された基板を前記第1の中間受け渡し部から受け取って、第2の処理部に基板を搬入するための搬入ステージに搬送し、更に第2の処理部にて処理された基板を、第2の処理部にて処理された基板を搬出するための搬出ステージから受け取って前記第2の中間受け渡し部に搬送する第2の搬送手段と、を備え、
前記第2の搬送手段は、基板が置かれる個所をモジュールと呼ぶとすると、搬送元モジュールから基板の搬出が可能である旨の信号と搬送先モジュールに基板の搬入が可能である旨の信号とが出力されたときに、搬送元モジュールから基板を搬送先モジュールに搬出するように動作することを特徴とする基板処理装置。
IPC (2件)：
FI (2件)：
H01L21/30 562
, H01L21/68 A
5F031CA02
, 5F031CA05
, 5F031FA01
, 5F031FA11
, 5F031FA12
, 5F031MA02
, 5F031MA03
, 5F031MA06
, 5F031MA07
, 5F031MA24
, 5F031MA27
, 5F031PA03
, 5F046JA04
, 5F046JA22
, 5F046LA01
, 5F046LA11
